STMicroelectronics совместно с Lab4MEMS создаст новое поколение МЭМС


STMicroelectronics вместе с партнерами начала работы по разработке пилотной линейки нового поколения МЭМС с использованием таких новых технологий, как пьезоэлектрические и магнитные материалы и объемное корпусирование.

Проект был запущен совместным предприятием Joint Undertaking (JU) Европейского консультативного совета по наноэлектронике (ENIAC), которое является примером государственно-частного партнерства в наноэлектронике. Координируя 30-месячный проект Lab4MEMS стоимостью 28 млн евро, ST работает с университетами, исследовательскими организациями и производственными предприятиями в девяти европейских странах. Проект использует производственные мощности МЭМС компании ST во Франции, Италии и Мальте, чтобы сформировать полный набор технологических знаний для нового поколения МЭМС, охватывающий вопросы от проектирования и изготовления до тестирования и корпусирования.

Проект буде развивать такие технологии, как пьезоэлектрические тонкие пленки (PZT), чтобы улучшить существующие полностью кремниевые МЭМС по таким параметрам, как большее смещение, большая чувствительность и большая плотность энергии. Они необходимы для построения датчиков, приводов, микронасосов и систем сбора энергии (energy harvesters), отвечающих требованиям будущего для хранения данных, струйных принтеров, медицины, автомобилей, промышленных систем управления и «умных домов», а также потребительской электроники, например, смартфонов и навигационных устройств.

Проект также будет развивать новые технологии корпусирования и вертикальных межсоединений, использующих перевернутый кристалл (flip-chip), переходы через кремний и переходы через слой, позволяя создавать объемно-интегрированные устройства для таких применений, как нательные датчики и дистанционный мониторинг. Его основная цель – усовершенствовать процесс осаждения пьезоэлектрических тонких пленок (PZT), совместимый с массовым производством, и интегрировать его в комплексные техпроцессы МЭМС, что позволит применять инновационные приводы и датчики в промышленных системах-на-кристалле.

Lab4MEMS является одним из пилотных проектов «ключевых технологий» (KET), имеющих договор с ENIAC JU на разработку технологий и сфер применения с большой социальной значимостью. ENIAC JU – это проект государственно-частного партнерства, в котором задействованы страны члены ENIAC, Европейский Союз и Ассоциация Содействия Европейской Наноэлектронике (AENEAS). Сейчас он вносит около 1,8 млрд евро на проекты по исследованию и разработке, которые отбираются на конкурсной основе по заявкам поданным на его Calls for Proposals (объявления о подаче предложений). Проект Lab4MEMS, координируемый ST, был выбран в 2012 г. и начал работу в январе 2013 г.

Читайте также:
ST во Франции предлагает МЭМС на мультипроектных пластинах
Лидер рынка MEMS делится ближайшими планами
Omron и ST создали интеллектуальный MEMS-датчик газа
ST анонсирует МЭМС-гироскоп для «умной» одежды
MEMS-микрофоны приобретают качество HD
«Ситроникс» таки займется МЭМС. Давно пора!
ST о перспективах рынка МЭМС
MEMS в ярком свете ночного солнца

Источник: EE Times Europe

Оставьте отзыв

Ваш емейл адрес не будет опубликован. Обязательные поля отмечены *