EUV-cканеры будут использоваться для выпуска полупроводников с нормами 7, 5 и 3 нм.
Официальным пресс-релизом компания ASML сообщила, что договорилась приобрести долю в одном из дочерних предприятий немецкой компании Carl Zeiss AG. За сумму в 1 млрд евро ASML приобретёт 24,9 % акций подразделения Carl Zeiss SMT. С этим подразделением ASML сотрудничает около 30 лет. Покупка акций укрепит отношения и даст возможность в большем объёме инвестировать в совместные разработки. В случае получения всех необходимых разрешений продажа акций будет оформлена во втором квартале 2017 года.
Кроме приобретения ценных бумаг Carl Zeiss SMT компания ASML в течение шести лет будет финансировать интересующие её разработки. Первая выплата составит 220 млн евро с последующим вкладом ещё 540 млн евро. На выходе ASML ожидает получить оптическую систему для EUV-сканеров следующего поколения с высоким значением числовой апертуры (High NA).
Сканеры ASML первого поколения, которые массово войдут в строй в 2018 и в 2019 году имеют оптику с NA равной 0,33. Эти сканеры, как мы знаем, будут использоваться для выпуска полупроводников с нормами 7 и 5 нм. Сканеры следующего поколения выйдут в период с 2020 по 2025 года и будут иметь значение High NA, равное 0,5. Оптика с подобным значением числовой апертуры позволит за один проход обрабатывать пластины с чипами с технологическими нормами менее 3 нм.