Вход |  Регистрация
 
 
Время электроники Воскресенье, 15 декабря
 
 


Это интересно!

Ранее

Внедрение 5S. Смысл есть

В статье представлен опыт отдельно взятого производственного предприятия по внедрению системы 5S, нацеленной на поддержание порядка в цехах и на рабочих местах и способствующей эффективной организации производственного процесса.

Стресс на работе: лучшие сотрудники в группе риска?

В прошлой статье (см. «Производство электроники» №4, 2011) мы описали общий механизм возникновения стресса и признаки, по которым его можно идентифицировать. Сегодня попробуем разобраться, какую модель поведения нужно выбрать, чтобы свести угрозу стресса к минимуму.

Решение проблемы изменения вязкости дозируемой жидкости с помощью дозатора Ultimus™ V компании Nordson EFD

Реклама

По вопросам размещения рекламы обращайтесь в отдел рекламы

Реклама наших партнеров

 

15 сентября

Технологии создания чистых зон в микроэлектронике



С

егодняшний день ставит перед отечественной микроэлектронной промышленностью поистине эпохальную задачу – проведение глубокой модернизации производства. Решение этой задачи позволит не только поддержать и укрепить достигнутый уровень обороноспособности страны в части создания высокотехнологичных видов вооружения, но и обеспечить точки экономического роста на рынке товаров народного потребления внутри страны.
Специфика современного производства микроэлектронных компонентов требует соблюдения очень высоких требований к чистоте воздушной среды при технологическом процессе, что успешно решается с помощью т.н. чистых помещений – инженерных комплексов оборудования для обеспечения заданных параметров воздушной среды.
Основными недостатками подобных инженерных комплексов является их высокая стоимость и энергопотребление. Учитывая эти негативные факторы, специалисты ЗАО «Ламинарные системы» предлагают использовать в наиболее ответственных местах производственного цикла простое и экономичное решение – ЧИСТУЮ ЗОНУ.

Что такое «чистая зона»

ЧИСТАЯ ЗОНА – это локальная пространственная конструкция, построенная и используемая таким образом, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание механических частиц внутри определенной зоны. Чистая зона конструктивно выполняется как самостоятельное изделие по принципу «помещение в помещении». Основным назначением чистых зон является поддержание заданных параметров воздушной среды в локальном пространстве и защита продукта от воздействия окружающей среды (см. рис. 1).

 

Рис. 1. Чистая зона. Сборочно-монтажный цех


Чистые зоны могут использоваться как в чистом, так и в обычном помещении. Зоны могут быть компактными, что позволяет «вписать» их практически в любую площадь. По уровню чистоты воздуха зоны соответствуют чистым помещениям, но являются значительно более экономичным решением. К тому же, в отличие от чистых помещений, зоны могут быть мобильными и использоваться там, где это необходимо в тот или иной момент (сборно-разборные конструкции модульного типа).
Чистые зоны обеспечивают класс чистоты воздуха от 5 ИСО до 8 ИСО включительно по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 и могут изготавливаться в двух вариантах:
– МОБИЛЬНЫЕ, когда существует возможность перемещать зону внутри помещения, где она установлена (как правило, это чистые зоны 5 (6) классов чистоты);
– СТАЦИОНАРНЫЕ, когда конструкции чистых зон жестко крепятся к полу, стенам, потолку или другим силовым конструкциям помещения (см. рис. 2, 3).
Стационарная чистая зона может быть надстроена или интегрирована в различное специализированное технологическое оборудование (см. рис. 4).

 

Рис. 2. Чистая зона для получения опытных образцов материалов особой степени чистоты

Рис. 3. Чистая зона для участка загрузки экструдера при производстве высоковольтного кабеля

Рис. 4. Чистая зона, интегрированная в технологическое оборудование

 

Чистые зоны производства ЗАО «Ламинарные системы»

Специалисты ЗАО «Ламинарные системы» имеют 15-летний опыт создания сложных инженерных систем в области чистых помещений и чистых зон. Это позволило сформировать высококвалифицированную команду единомышленников, в арсенале которой оригинальные конструкторские и технологические разработки, а также уникальные методики тестирования продукции. Предприятие располагает обширной производственной базой и собственной испытательной лабораторией, оснащенной самым современным оборудованием.
Чистые зоны производства ЗАО «Ламинарные системы» имеют ряд конструктивных особенностей и конкурентных преимуществ. Производимые предприятием чистые зоны, благодаря специальной запатентованной конструкции выходного устройства фильтровентиляционных модулей, имеют очень ровный вектор скоростей по всей поперечной площади зоны даже при очень больших размерах. Это позволяет гарантированно создавать однонаправленный (ламинарный) поток нисходящего воздуха, что крайне важно для чистых зон 5 класса ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 и выше. Кроме того, замена выходного НЕРА-фильтра при такой конструкции не требует специальных навыков и может быть осуществлена одним человеком без необходимости привлечения сторонних специалистов.
«Умная» система управления AIS LS, являющаяся также разработкой специалистов предприятия, самостоятельно отслеживает загрязненность фильтров в фильтровентиляционных модулях, при необходимости автоматически повышает скорость вращения вентиляторов и информирует потребителя обо всех неисправностях системы, а также о необходимости замены фильтров.
Модульность конструкций производимых зон, с учетом наработанных типовых узлов, позволяет в минимальные сроки и с высоким качеством решать самые разнообразные задачи. При технологической необходимости произвольное количество чистых зон можно объединить в систему, управляемую с одного пульта с возможностью диспетчеризации параметров каждой из зон по отдельности.
В чистой зоне, обеспечивающей класс чистоты 5 (6) ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002, потолок состоит из сплошного набора фильтровентиляционных модулей, забирающих воздух из помещения установки (см. рис. 5). Чистота внутри рабочего пространства зоны обеспечивается путем выдавливания загрязнений потоком однонаправленного очищенного воздуха (эффект воздушного поршня). По периметру потолка закреплены элементы для управления воздушным потоком, выполненные из прозрачного каленого стекла либо из металлических панелей «сэндвич» со специальным покрытием. Ограждающие конструкции не доходят до уровня пола. Все сочленения изделия уплотнены химически стойкой резиной или герметизированы.

 

Рис. 5. Чистая зона. Класс чистоты 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002


Чистая зона в варианте исполнения, обеспечивающем класс чистоты 7 ИСО и ниже по ГОСТ ИСО 14644-1-2002, имеет в своем составе несколько фильтровентиляционных модулей, забирающих воздух из помещения установки. При этом количество фильтровентиляционных блоков определяется исходя из необходимой кратности обмена воздуха внутри зоны с учетом ее геометрических размеров. Воздух подается внутрь слаботурбулентным потоком, и чистота воздушной среды достигается путем разбавления, снижения концентрации и удаления аэрозольных частиц. Потолок зоны при таком подходе формируется по растровому принципу – в его ячейки ставятся фильтровентиляционные блоки и светильники. Остальная площадь закрывается потолочными двухслойными панелями, обращенными металлом в чистую зону. Рабочая зона изделия формируется с помощью закрепленных в каркасе по периметру изделия ограждающих конструкций из прозрачного каленого стекла, доходящих до уровня пола. Для обеспечения избыточного давления внутри зоны в ограждающих конструкциях установлены переточные решетки или анемостаты. Чистая зона может иметь необходимое количество дверей для прохода внутрь оператора или провоза какого-либо продукта, с которым работает оператор. Все сочленения данного изделия также уплотнены химически стойкой резиной или герметизированы.

 

ЗАО «Ламинарные системы» входит в состав холдинга LAMSYSTEMS, выпускающего продукцию для производств и лабораторий с высокими требованиями к чистоте воздушной среды: боксы микробиологической безопасности I, II и III классов; ламинарные укрытия с вертикальным нисходящим потоком воздуха; вытяжные шкафы общего назначения и для химических лабораторий; изделия индивидуального проектирования – чистые зоны и чистые помещения; специальную одежду для медицинского применения и высокотехнологичных производств, где имеется необходимость защиты продукта и окружающей среды от загрязнений, источником которых может являться человек.
На всю выпускаемую холдингом продукцию имеются регистрационные удостоверения, подтверждающие соответствие изделий заявленным техническим и эксплуатационным характеристикам.


Поскольку чистая зона работает по принципу рециркуляции воздуха в помещении, в котором она установлена, она не только создает внутри себя воздушную среду гарантированного класса чистоты, но и эффективно очищает воздух в самом помещении. Зачастую обеспечение класса чистоты другими инженерными системами в таком помещении не требуется.
Внутри чистой зоны может быть установлено любое оборудование, в т.ч. ламинарные боксы* и вытяжные шкафы* для работы с чистым продуктом с использованием вредных или химически опасных веществ (см. рис. 6). Внутрь оборудования в этом случае засасывается чистый воздух необходимого класса, что исключает контаминацию продукта с примесями из окружающей воздушной среды.
При необходимости чистая зона может быть модернизирована до чистого помещения с обеспечением микроклимата внутри зоны. Для этого требуется ее дооснастка приточной системой, обеспечивающей подачу кондиционированного наружного воздуха (с улицы).

 

Рис. 6. Вытяжной шкаф, интегрированный в чистую зону

 

ЗАО «Ламинарные системы»
456300, Челябинская обл., г. Миасс, Тургоякское шоссе, 2/4.
Тел/факс: (3513) 544-744, 544-500; 544-755.
e-mail:
cleanroom@lamsys.ru
веб-сайт: www.lamsys.ru
Представительство в Москве:
Тел./факс: (925) 508-71-26, (901) 547-84-03



Вы можете скачать эту статью в формате pdf здесь.
Оцените материал:

Автор: Виктор Востоков, директор по направлению «Чистые помещения», ЗАО «Ламинарные системы»



Комментарии

0 / 0
0 / 0

Прокомментировать





 

Горячие темы

 
 




Rambler's Top100
Руководителям  |  Разработчикам  |  Производителям  |  Снабженцам
© 2007 - 2019 Издательский дом Электроника
Использование любых бесплатных материалов разрешено, при условии наличия ссылки на сайт «Время электроники».
Создание сайтаFractalla Design | Сделано на CMS DJEM ®
Контакты