Портативный анализатор для определения легирующих газов в полупроводниковом производстве


Портативный газовый анализатор Triple Plus+ компании Crowcon может быть использован для определения четырех токсичных и огнеопасных газов [[из общего числа 15]]

Анализатор выпускается в прочном polyamide/ABS корпусе, соответствует нормам IP65, может эксплуатироваться в промышленных условиях. В анализаторе используются датчики 7-ой серии, самые надежные из всех представленных сегодня на рынке.

В анализаторе имеется 0-1.00 ppm arsine сенсор для определения содержания легирующих (dopant) газов, применяемых в полупроводниковом производстве. Для калибровки датчиков можно применить фирменную станцию CheckBox, что упрощает процесс аттестации анализатора.

Кроме стандартной версии, компания предлагает также инфракрасную Triple Plus+ IR (infrared) для измерения малых концентраций газов в соответствии с ISO 61779 LEL (lower explosion limit). Обнаружение газов с помощью IR отличается о традиционных методов, поскольку не требует присутствия кислорода, что делает Triple Plus+ IR идеальным средством для проверки степени очистки углеводородных накопительных емкостей (hydrocarbon storage tanks) как в процессе обработки нефти, так и при ее транспортировке.

На большом дисплее с боковой подсветкой одновременно отображается содержание всех анализируемых газов. Громкий звуковой и яркий световой сигналы предупреждают оператора о превышении допустимого уровня содержания газа. Анализатор хранит данные измерений в течение 100 часов, которые могут быть переданы в компьютер через RS232 порт.

 

Оставьте отзыв

Ваш емейл адрес не будет опубликован. Обязательные поля отмечены *