Инфраструктурный проект по производству технологического оборудования для молекулярно-пучковой эпитаксии и планарного процессинга одобрен наблюдательным советом РОСНАНО. Общий бюджет проекта оценивается в 630 млн. рублей, из них инвестиции РОСНАНО – до 140 млн. рублей.
Инвестиции получит компания-заявитель «Научное и технологическое оборудование», которая под брендом SemiTEq выпускает сверхвысоковакуумное оборудование для НИОКР и мелкосерийного производства в области нанотехнологий и наноэлектроники, полупроводниковой микро- и оптоэлектроники.
Реализация проекта приведет к расширению производства существующих и выпуску новых видов оборудования для некремниевой электроники, в том числе первых отечественных производственных установок для молекулярно-пучковой эпитаксии. Проект также предусматривает выпуск производственного оборудования для электронно-лучевого напыления, плазмохимического травления, термической обработки и производство исследовательских комплексов «Нанолаборатория».
Установки, производимые проектной компанией, позволяют получать полупроводниковые материалы (эпитаксиальные гетероструктуры) с качественно новыми характеристиками. На основе подобных гетероструктур изготавливаются светодиоды, лазеры, солнечные элементы, транзисторы, сенсоры и другая инновационная продукция.
Источник www.nanonewsnet.ru