Вход |  Регистрация
 
 
Время электроники Четверг, 13 декабря
 
 

Это интересно!

Ранее

ГЛОНАСС-клуб. Развитие в России современной электронной компонентной базы

На вопросы, связанные с развитием в России современной электронной компонентной базы отвечают ведущие специалисты навигационной отрасли и представители разработчиков и заказчиков.

Возвращение квантовой диаспоры

Российский квантовый центр закрепил достойное место для России во второй квантовой революции. Это стало возможным благодаря совместным усилиям выпускников МФТИ, ставших выдающимися учеными и предпринимателями, и помощи государства

Всерьез и надолго. К 25-летию НИИ «Субмикрон»

НИИ «Субмикрон» отмечает в этом году 25 лет с момента основания. «Субмикрон» работает на международном уровне, участвует в проектах мирового масштаба и задает тон развитию космической отрасли и отечественной микроэлектроники.

Реклама

По вопросам размещения рекламы обращайтесь в отдел рекламы

Реклама наших партнеров

 

9 сентября

День без турникетов – «Ангстрем»

В рамках акции «День без турникетов» зеленоградский завод пригласил всех желающих познакомиться с производством. «Ангстрем» запланировал обзорную экскурсию по периметру гермозоны – цеха, в котором делают микросхемы – и в заводской музей.



Г

остям показали через стекло кристальное и сборочное производство, где это было возможно. Фотосъемка была запрещена, зато по производственным участкам экскурсию сопровождал главный технолог Анатолий Бессонов. И для начала предупредил: никакие кнопки и тумблеры не трогать: «Выключите оборудование – убытки будут на миллионы!».

Первый министр электронной промышленности СССР, имя которого «Ангстрем» носит уже 15 лет

Одно из приоритетных направлений завода – разработка и производство электронных компонентов спецназначения для предприятий «оборонки», они – основные заказчики. Кроме того, «Ангстрем» занимается выпуском систем цифровой связи, процессоров, микросхем памяти и силовой электроники. Более половины коммерческой продукции идёт на экспорт.

«День без турникетов» на режимном предприятии – вход всё равно по паспорту

Главное в микроэлектронике – чистота

«Любая пылинка на кристалле сказывается на выходе годных», – говорит Бессонов и проводит привычный ликбез по организации «чистых комнат»: внутри гермозоны поддерживается определенный микроклимат, температура, в воздухе – строго учтенное количество примесей и микрочастиц определенного размера, от единиц до десятых долей на единицу объёма.

Халат и тапочки – первый уровень переодевания, для гостей. Работники завода проходят еще несколько уровней: одевают тонкие брюки, рубашку и сверху комбинезон, шлем и матерчатые бахилы, маску и одноразовые перчатки. Косметику женщинам использовать запрещено. Вход – через шлюз с сильным потоком воздуха, который сдувает все пылинки с человека. Внутри гермозоны регулярно делают влажную уборку полов и стен, всех рабочих поверхностей, постоянно работают вентиляторы, нагнетающие сверху поток очищенного воздуха. На особо чистых участках поток воздуха подается прямо на оператора, чтобы с него ни пылинки не упало на микросхему. Для каждой чистой комнаты строго установлено число людей, которые могут находиться внутри, обычно от двух до нескольких человек.

Все материалы производства – растворы, газы и оснастка – тоже должны быть с минимальными примесями, иначе характеристики микрочипа могут заметно измениться. На заводе действует станция деионизованной воды, которую специально готовят для производства. Всё это обеспечение чистоты делает микроэлектронное производство достаточно затратным.

«Как же вы работали в то лето, когда в городе был смог и дым от пожаров?», – спрашивают экскурсанты. «Мы тогда останавливали завод, так как загрязнили все воздушные фильтры, их пришлось менять, это дорого обошлось, – вспоминает Бессонов. – Сначала пытались как-то бороться, потом поняли, что это бессмысленно и не работали недели две. «Микрон» работал без остановок, но тоже с проблемами…»

Не размер, но надежность

Микроэлектроника – дорогое удовольствие и по стоимости оборудования. Каждая установка стоит несколько миллионов евро, а их на заводе десятки. Кроме того, производство чипов очень энергоёмкое, при этом оборудование нельзя останавливать, оно должна работать постоянно – каждый перезапуск отнимает много времени и сопровождается массой контрольных операций.

На действующем производстве «Ангстрема» десяток участков: химическая обработка, химическое и плазмо-химическое травление, ионное легирование, фотолитография, напыление и металлизация, осаждение слоев, диффузия, контроль.

«Микроэлектроника – это стык физики, химии и оптики, – рассказывает главный технолог. – Наше оборудование позволяет производить чипы с минимальным размером элементов в 0,6 микрона на пластинах диаметром 150 мм. Кстати, вон в тех больших помещениях раньше было огромное производство на пластинах 100мм – часов, калькуляторов и другой продукции для Китая. Уже лет пять оно не действует, оборудование демонтировано, скоро там запустят линию на пластинах 200 мм с уровнем 0,25микрона – не нашу, эту часть у нас арендуют».

Мировой уровень топологии микросхем уже достиг 0,04 микрона или 40 нм, но это вопрос обновления оборудования – на западе обычно завод строится под определенный технологический уровень и эксплуатируется лет пять. «Ангстрем» построили 20 лет назад, а технологическую линию и материалы только дополняются по мере необходимости. Секрет выживания – в оборонном заказе: военная продукция – не гражданская, на неё у заказчиков особые требования. Военным не нужна супер-высокотехнологичная топология, им нужна надежность и безотказность на десятки лет. Актуально также поддерживать в строю военную технику, поэтому иногда «Ангстрем» делает под заказ для ВПК электронику, которая выпускалась 20 лет назад.

«В чем радикальное отличие технологий на западе и у нас, почему вы не можете себе позволить раз в пять лет полностью обновить оборудование? Это же требование времени», – спрашивает внимательная девушка из гостей. «Оборудование у нас в основном американское, – отвечает Бессонов. – Сейчас из-за санкций мы вряд ли даже сможем купить что-то новое. Есть риски, что нам могут не продать и запчасти к нашему оборудованию или материалы, которые мы используем в производстве и которые не производятся в России: фоторезисты, некоторые газы и прочее. Что тогда делать? Приобретать через Китай или еще как-то. Но кремниевые пластины у нас свои, в Зеленограде есть производство – фирма «Телеком-СТВ», например, мы у них много покупаем. Но что-то привозим и из-за границы».

Кристалл кремния диаметром 100 мм, его нарезают на пластины

«А кто-то из зеленоградских или российских компаний у вас размещает заказы, или вы выпускаете только собственные разработки?», – интересуется другой гость. Выясняется, что контрактным производством «Ангстрем» не занимается. Зато практикует партнёрство с «Микроном» и МИЭТом – по договоренности зеленоградские предприятия иногда выполняют друг у друга отдельные производственные операции, для которых нужно определенное оборудование. Возможно, микроэлектронным фабом в перспективе станет новый завод «Ангстрем-Т», который сейчас строится, с технологической линией для выпуска чипов уровня 90нм. «Это, конечно, не 40нм, и оборудование там не самое новое, но тем не менее. Правда я туда уже не попаду, туда набирают молодежь…», – заключает наш провожатый, который работает на «Ангстреме» более 30 лет.

Тонкости технологии

Каждая кремниевая пластина при изготовлении чипов проходит до 300 операций, это занимает до нескольких месяцев. Обрабатывают сразу партии пластин, например, в 100 шт. На контейнере с партией ставят код изделий, по которой процессами их изготовления управляет специальная автоматическая система и операторы – у них есть целые журналы с выписками операций и режимов. Если на любом этапе оборудование или контроль показывает какую-то ошибку, теряется вся партия – стандартный уровень таких потерь на производстве около 10%. Если это ошибка сотрудника, это скажется на его зарплате.

Первый производственный участок – химобработка, класс чистоты его в 10 раз выше других. От качества промывки пластин зависит успех всех следующих операций. Процедура это автоматическая, оператор только загружает пластины и включает нужный режим, а потом контролирует результат микроскопом.

Один из ключевых участков – фотолитография: это нанесение на светочувствительную пластину слоев, из которых формируется микрочип. Похожее происходит при печати фотографий, но в микроэлектронике роль пленки с негативом играет маска на стекле. Каждая фотолитография слоя чередуется с травлением, удалением примесей или химическим выращиванием нужных элементов топологии, таких фотолитографий одна пластина может пройти до нескольких десятков.

Самый вредный участок – химическое травление. Здесь используют кислоты и другие агрессивные среды. Операторы подсоединяют баллоны, заливают растворы через насос, устанавливают режимы и работают с максимальными предосторожностями. «Тяжелая работа, на самом деле, местами – опасная», – поясняет Бессонов. Существуют и автоматические установки для всех этих операций, но на «Ангстреме» их нет.

Исходная толщина кремниевых пластин 150 мм, выходящих после производства – 600 микрон или 0,6 мм. На самом деле, разным заказчикам нужны пластины разной толщины: для космических микросхем имеет значение вес, для карт – толщина чипов. Но тонкие пластины очень хрупки и могут не перенести всех технологических операций, поэтому до требуемой толщины их доводят только в конце, шлифованием с нерабочей стороны. «Ангстрем» делает пластины в 460 или 250 микрон, например, а если нужны 120–100 микрон – отдаёт их для обработки на «Микрон».

Затем на сборочном производстве каждую пластину разрежут на кристаллы, на одной пластине их может помещаться от 50 до 25 тысяч. Чипы заключают в герметичные корпуса, после чего они приобретают привычный вид.

Музей

Завершая экскурсию, главный технолог приглашает всех приходить работать на завод: сейчас много вакансий операторов. Впрочем, сам он считает самой творческой работу технологов – «Это очень интересно, находить причину разных видов брака и разрабатывать способы, как его избежать. Встречается брак традиционных видов, а бывают и такие редкие вещи, которые видишь раз в жизни…»

Руководитель службы подбора и развития персонала «Ангстрема» Олеся Скоробогатова подтверждает, что предприятие сейчас нацелено на привлечение молодежи. Средний возраст сотрудников – 43 года. Молодым готовы предложить возможность учиться и работать: у завода есть договоренность с колледжем МИЭТа, где студенты параллельно с работой получают высшее образование, а «Ангстрем» частично компенсирует им оплату обучения.

Первый директор завода «Ангстрем» Владимир Сергеевич Сергеев. Год рождения «Ангстрема» – 1963, когда был создан НИИ точной технологии с заводом «Ангстрем». Изначально предприятие располагалось на базе школы, а сегодня завод – это около 1500 чел.

«А что такое ангстрем?» – «Ангстрем это единица измерения»

Экспонаты заводского музея

Советский бренд «Электроника» имел начинку, изготовленную на «Ангстреме». Всем известные консоли «Ну, погоди!» делались именно здесь

Медтехника Elektronika на экспорт – подпись на финском языке, инструкция на русском

Смотрим фильм об «Ангстреме» – представительно и пафосно

Читайте также:
«Ангстрем» и «Микрон» проведут экскурсии для всех желающих в рамках «Дня без турникетов»
Зеленоградский «Ангстрем» купил лицензию у ARM для оживления цеха 130 нм
«Ангстрем-плюс»: производство радиационно-стойкой элементной базы для ВПК
«Ангстрем» на SEMICON Japan 2012: о новых микросхемах и роли на зарубежных рынках
«Ангстрем» привлек 1,6 млрд руб. под контракт с Минобороны
«Ангстрем» сегодня и завтра
«Ангстрем» готовит к запуску новую линию по производству радиационно-стойких чипов

Источник: Zelenograd.ru

Оцените материал:

Автор: Текст: Елена Панасенко, Владимир Киселёв; фото: Владимир Киселёв, Zelenograd.ru



Комментарии

0 / 0
0 / 0

Прокомментировать





 

 
 




Rambler's Top100
Руководителям  |  Разработчикам  |  Производителям  |  Снабженцам
© 2007 - 2018 Издательский дом Электроника
Использование любых бесплатных материалов разрешено, при условии наличия ссылки на сайт «Время электроники».
Создание сайтаFractalla Design | Сделано на CMS DJEM ®
Контакты