Компания IBM сообщила об улучшении КМОП-техпроцесса для производства транзисторов с каналами из графена. Характеристики новых транзисторов значительно превосходят характеристики созданных ранее прототипов.
IBM, так же, как и другие ведущие разработчики технологий, применяемых в области полупроводников, занимается изучением графена. Высокая стабильность графена по всем возможным физическим и химическим параметрам может в перспективе стать причиной полной либо частичной замены им кремния. Благодаря своим свойствам графен – хорошая альтернатива в качестве основы для мощных и (или) высокочастотных транзисторов.
Около 3 лет назад компания IBM представила макет смесителя частоты, в схеме которого был использован транзистор с каналом из графена. Однако прототип был достаточно крупного размера. Компании необходимо было разработать такие этапы техпроцесса по обработке пластин из кремния, чтобы включить в традиционный КМОП-процесс стадии, в ходе которых можно было бы сформировать на подложке транзисторы с каналами из графена. При этом основная проблема заключалась в том, что графен повреждался в процессе «депонирования», из-за чего характеристики «графеновых» транзисторов значительно ухудшались.
Недавно IBM сообщила, что ей удалось разработать такой КМОП-техпроцесс, который позволяет не терять свойства графеновых каналов.
 |
Участок схемы с транзистором, в котором применен канал из графена
Сотрудники компании создали кристаллы площадью 0,6 кв. мм на 200-мм пластине. Каждый из кристаллов представлял собой радиочастотный тракт, полностью готовый к работе, и включающий усилитель, фильтр, смеситель частоты и т.д. Это простая схема, в которой были использованы 2 емкости, 4 индуктивности, 3 транзистора и 2 резистора. При этом каждый из использованных полевых транзисторов имел рабочий канал из графена. После проверки свойств этих транзисторов в IBM заявили, что свойства материала полностью сохранились, что подтверждается улучшенной в 10000 раз проводимостью по сравнению с предыдущими решениями.
Добавим, что прототипы получившихся радиотрактов абсолютно рабочие. Компания IBM подтвердила это, передав с их помощью текстовую информацию на частоте 4,3 ГГц, зашифровав в сообщении название компании.
Читайте также:
Создан первый транзистор на альтернативе графена из фосфора
Графен «победил» отсутствие запрещенной зоны с помощью небулевой логики
Графен научились складывать в многослойные п/п-гетероструктуры
Физики из Кореи превратили графен в полупроводник с помощью «мельницы»
Графен позволил в 100 раз ускорить оптические коммутаторы
Создана революционная графен-йодная топливная ячейка без платины
Графен помог создать гибкие фотоэлементы
Создана технология осаждения графена на подложки для электроники
Из графена все-таки можно будет создавать транзисторы
Полупроводники из графена
Билл Гейтс дал 100 тыс. на создание из графена и латекса особо прочных «предохранителей»
Графеновый ионистор оказался лучше Li-ion-батарей
UCLA: графеновые суперконденсаторы могут совершить революцию в гибкой электронике
Источник: Eetimes.com