Цена EUV-сканера превысила 120 млн долл.


Кто может позволить себе приобрести EUV-установку? Учитывая цену в 125 млн долларов - всего лишь несколько компаний. При этом цена на литографические инструменты продолжает расти.

EUV-технология получила поддержку со стороны полупроводникового сообщества.
Фото с сайта newsline.llnl.gov

Эту новость сообщил в своем выступлении Дэн Хатчесон (Dan Hutcheson), главный исполнительный директор компании VLSI Research. «Несколько лет назад, когда Ристо Пухакка (Risto Puhakka), президент VLSI Research, называл ту же цену, все считали его сумасшедшим, но теперь многие компании стали нашими заказчиками», – заявил Хатчесон.

В 2003 г. корпорация Intel, сторонник применения технологии EUV (Extreme UltraViolet lithography – фотолитография с использованием глубокого ультрафиолета), заявила о том, что целевые расходы на один EUV-сканер составят 20 млн долл. Предполагается, что метод EUV-литографии придет на смену 193-нм иммерсионной литографии, когда она исчерпает свои возможности.

Однако разработка EUV-технологии задержалась, расходы на научные исследования значительно выросли, и стоимость установки выросла. Цена одного пробного образца сканера, произведенного поставщиком литографических систем ASML Holding NV, составила 60 млн долл. Эти установки приобрели компании IMEC и Sematech.

Как бы то ни было, интерес к EUV-система растет. Как уже сообщалось, в портфеле компании ASML шесть заказов на опытные образцы EUV-сканера NXE:3100, поставки которых будут осуществлены к концу этого года. Цена каждого из них составляет около 90 млн долл.

Эта голландская компания также получила 10 заказов на EUV-системы следующего поколения под названием NXE-3300. Компании Hynix, IMEC, Intel, Samsung, Toshiba и TSMC – первые заказчики опытных EUV-установок.

Источник: EETimes.com

Оставьте отзыв

Ваш емейл адрес не будет опубликован. Обязательные поля отмечены *