Европейская полупроводниковая компания STMicroelectronics заявила о том, что впервые в мире кристаллы на кремниевой пластине были протестированы без использования проводов и контактных датчиков.
Испытания RFID-микросхем были осуществлены по методу EMWS (electromagnetic wafer sort), который был разработан участниками проекта UTAMCIC (UHF TAG Antenna Magnetically Coupled to Integrated Circuit) под руководством Альберто Пагани (Alberto Pagani), Джованни Гирландо (Giovanni Girlando) и Алессандро Финоччиаро (Alessandro Finocchiaro) из STMicroelectronics и профессора Джузеппе Пальмизано из Университета в Катании.
Сортировка пластин по электрическим параметрам – заключительный этап кремниевого производства, предшествующий сборке и тестированию корпусированных микросхем. Зондовая плата, подключенная к автоматической испытательной установке, контактирует поочередно с контактными площадками каждого кристалла, проводя серию испытаний. В технологии EMWS тестовое оборудование устанавливает беспроводную связь с каждой микросхемой, которая оснащена антенной.
В некоторых приложениях эта технология избавляет от необходимости создавать тестовые площадки на кристаллах, тем самым позволяя уменьшить их площадь.
ST сообщает, что пока возможности EMWS-технологии ограничены тестированием только маломощных микросхем.
EMWS позволяет тестировать каждый кристалл кремниевой пластины за счет фокусирования излучаемой антеннами электромагнитной энергии. При этом расстояние между кристаллом и тестовым оборудованием увеличивается на порядок по сравнению с уже известными методами.
Бесконтактное испытание также уменьшает время цикла тестирования, т.к. исключает необходимость перемещения пластины и позволяет одновременно выполнять несколько испытаний. Более того, благодаря новой технологии увеличивается выход годных, т.к. при контакте зонда с площадками кристаллов они могут повредиться.
Источник: EETimes